91033, Украина, г.Луганск
ул.Цимлянская, 2Б
+38(0642)922542
pryroda@pryroda.org

Карборунд

article15.jpg

 Установка выращивания объемных монокристаллов карбида кремния сублимационным методом в протоке инертного газа.

 

 Технические характеристики:

 
  • Максимальный диаметр выращиваемого кристалла, мм 100 
  • Регулируемое рабочее давление инертного газа, мм.рт.ст. 10…20
  • Максимальная рабочая температура в реакционной зоне, оС 2600
  • Способ нагрева        резистивный
  • Потребляемая электрическая мощность при 2600 оС, кВт ≤ 30
  • Объем рабочей камеры, м3 0,7
  • Давление в камере при вакуумировании, мм рт.ст. ≤ 10-5
  • Регулируемые расходы инертных газов (азот, аргон), л/час 0,09÷9
  • Длительность рабочего процесса, час ≤ 100
  • Давление охлаждающей воды на входе установки, атм 2÷2,5
  • Потребление охлаждающей воды, л/мин ≤ 40
  • Температура охлаждающей воды на входе установки, оС 16÷25
  • Площадь, занимаемая установкой (с учетом зоны обслуживания), м2 ≤ 9
  • Степень автоматизации (управление)   промышленный компьютер